下载一种烘干烧结炉硅片链条输送装置的技术资料

文档序号:16844738

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本实用新型公开一种烘干烧结炉硅片链条输送装置,包括设置在烘干烧结炉架一端、并具有双动力的主传动辊组件、设置在烘干烧结炉架另一端的副传动辊组件、设置在烘干烧结炉架下端的下链条输送通道、及设置在烘干烧结炉架上端的上链条输送通道,主传动辊组件和副...
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