下载一种高速往复运动的动密封装置的技术资料

文档序号:16843343

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本实用新型涉及一种高速往复运动的动密封装置,包括:至少两个控制通道、至少两个动密封机构、控制装置、工件驱动装置、间隙调节机构、马达和传动齿轮,其中,真空室的两侧分别连接有所述控制通道,所述至少两个动密封机构经控制通道分别与真空室的两侧连接;...
该专利属于罗小果;王毅所有,仅供学习研究参考,未经过罗小果;王毅授权不得商用。

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