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本发明涉及一种半导体激光bar条及其制备方法,方法包括:制作GaAs外延片;在P‑GaAs欧姆接触层上刻蚀出脊型电流注入区和非注入区,并露出部分所述P‑GaAs限制层;制作出光隔离区;形成将所述P‑GaAs欧姆接触层以及露出的部分所述P‑G...该专利属于山西飞虹微纳米光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西飞虹微纳米光电科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种半导体激光bar条及其制备方法,方法包括:制作GaAs外延片;在P‑GaAs欧姆接触层上刻蚀出脊型电流注入区和非注入区,并露出部分所述P‑GaAs限制层;制作出光隔离区;形成将所述P‑GaAs欧姆接触层以及露出的部分所述P‑G...