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本发明公开了一种超柔性氮化镓基金字塔结构半导体器件及其制备方法，包括自下到上依次设置有柔性衬底、导电粘结层、SiO2掩膜、金字塔阵列及P面透明电极，金字塔阵列中的各金字塔之间填充有绝缘填充材料，金字塔阵列中各金字塔均包括金字塔形结构的非故意...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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