下载一种传感器固定件、传感器固定机构和介质处理设备的技术资料

文档序号:16820388

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本发明公开了一种传感器固定件、传感器固定机构和介质处理设备。传感器固定件包括固定部和卡接部。固定部设置有弹性部,弹性部的一端为自由端。卡接部用于与传感器卡接,至少两个卡接部分别连接于固定部相对的两侧,且与固定部围合形成用于容置传感器的容置空...
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