下载一种钽酸锂窄带探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:16816382

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本发明公开了一种钽酸锂窄带探测器及其制备方法,属于热释电红外探测器领域。探测器包括探测器本体和电磁超表面结构,电磁超表面结构设置在探测器本体上,其中,探测器本体包括从下至上设置的硅底座支撑、下电极、钽酸锂晶片、上电极,电磁超表面结构包括自下...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。

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