下载用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法的技术资料

文档序号:16811201

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本发明公开了一种用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法,其中,包括:在柔性衬底的受热面上形成热接收层,并将热接收层的辐射系数控制在设定的范围内;采样测量热接收层在加热单元处的辐射系数;根据采样测量获得的辐射系数对采样位置处的加热单元的温度进行...
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