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本发明涉及薄膜材料制备技术领域，一种离子束辅助沉积系统为基于伪火花放电的等离子体阴极电子枪，区别于典型的离子束辅助沉积装置，其具有多个电极间隙，能有效产生空心阴极电离过程和后续的传导电离过程的电子束；空心阴极相的电子束的能量和束流密度通过不...
该专利属于金华职业技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过金华职业技术学院授权不得商用。

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