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本实用新型提供了一种高精度自复位探针式位移测量装置，测量装置由底部支撑单元、线性运动单元、线性驱动单元和顶部连接单元组成；线性运动单元与线性驱动单元相对地平行安装在底部支撑单元和顶部连接单元之间，底部支撑单元和顶部连接单元平行设置，线性驱动...
该专利属于长春晟博光学技术开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春晟博光学技术开发有限公司授权不得商用。

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