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本申请提供一种用于CMP的硅溶胶的制备方法，用于解决现有的硅溶胶抛光效果差的技术问题。本申请的制备方法包括如下步骤：(1)将浓度为0.2～0.4wt％的氢氧化钠水溶液加热后，加入定量硅粉，得到硅溶胶种子溶液；(2)将水玻璃用去离子水稀释至含...
该专利属于山东银丰纳米新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东银丰纳米新材料有限公司授权不得商用。

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