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本发明公开了一种节能高效的氦气纯化装置，包括有具有真空夹层的真空桶体，所述真空筒体的上端安装有封头，其特征在于：所述真空桶体内的下方安装有由吸附子单元组成的吸附模块，所述吸附模块底端的真空桶体内连通有液氮导流管，所述真空桶体内吸附模块的上方...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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