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一种3D立体微纳结构的制作方法技术
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文档序号:16806024
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本发明属于微纳制造工艺相关领域,并提供了一种3D微纳结构的制作方法,该方法包括:将被加工材料薄膜放置在模具上,模具根据根据材料的脱模性能决定是否涂覆脱模剂,在被加工材料薄膜上方放置用于发生自蔓延反应的自蔓延多层膜,向自蔓延多层膜自上至下的结...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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