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本发明提供一种间隙粒子散布装置，用以向玻璃基板表面散布间隙粒子，包括：一密封腔室，以及位于所述密封腔室内的基台、顶针、以及若干吸附组件，各吸附组件对应设置于所述基台的四个边缘区域，各所述吸附组件独立通入电流，以分别控制各所述吸附组件的静电吸...
该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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