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一种低光气含量的三氯化硼生产装置，其中，干燥器的出口与立式反应炉底部的入口连接，立式反应炉两侧设置观察孔并内置两组固定式双层反应管，双层反应管外层为石英管、内层为与石英管内切的石墨环，石墨环内装填有碳化硼颗粒，同时双层反应管上端出口连接至阻...
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