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用于感测测量气体的至少一个特性的传感器元件制造技术
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文档序号:16752956
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本发明涉及一种用于感测在测量气体空间(4)中的测量气体的至少一个特性的传感器元件,所述传感器元件具有至少一个传导氧离子的膜片(20)。所述至少一个膜片(20)沿层厚度方向(22)至少区段式地(S1.1、S1.2、S1.3)具有至少一个双层体...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。
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