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本发明公开了一种用于测量样品的衍射结构的装置及方法，装置包括：测量装置和用于分析衍射的计算机系统。测量装置包括：宽带辐射源、偏振元件、测量反射率的检测器。而由计算机执行的计算机程序，其中计算机程序包括以下指令：提取步骤：从所测量的零级衍射辐...
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