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本发明提出一种具有参考光束的激光位移传感器，由激光器、发射镜组、半反半透镜、反射镜、外壳、测控电路、电缆、光电器件、接收镜组、滤光片等部分组成，由激光器发出的激光束经过发射镜组和半反半透镜后产生两束激光：一束透过半反半透镜，形成测量光束，投...
该专利属于上海砺晟光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海砺晟光电技术有限公司授权不得商用。

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