下载一种压电器件的技术资料

文档序号:16729844

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本实用新型提供一种压电器件,所述压电器件包括叠置的参考电极层、第一导电层以及第二导电层,所述参考电极层、第一导电层以及第二导电层中的至少之一的表面上设置有保护膜层。通过设置保护膜层,提高压电器件表面金属电极的抗腐蚀性和耐磨损性,利于压电器件...
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