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本发明提供一种聚焦离子束显微镜机台，其包括：电镜镜头、腔室以及交换仓；腔室的底部设置有观测台，在观测台上固定连接有支撑台，电镜镜头垂直贯穿腔室的顶部，且与支撑台正对；交换仓贯穿腔室的侧壁且固定在交换仓上，交换仓设置有开孔，且开孔正对支撑台；...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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