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本发明涉及一种MEMS开关，其包括基板和形成在基板上的开关结构，其中开关结构进一步包括形成在基板上的导电触点、联接至基板的自补偿锚定结构以及包括第一端部和第二端部的梁，该梁在第一端部处与自补偿锚定结构形成一体并且从所述自补偿锚定结构垂直地向...
该专利属于通用电气公司所有，仅供学习研究参考，未经过通用电气公司授权不得商用。

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