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用于盘驱动器悬架的多层剪切模式PZT微致动器及其制造方法技术
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下载用于盘驱动器悬架的多层剪切模式PZT微致动器及其制造方法的技术资料
文档序号:16702055
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本申请公开了用于悬架的微致动器。微致动器包括具有第一面和相反的第二面的多层PZT器件。多层PZT器件的每个层被构造成在由激励电压激励时以其d15模式操作。各层被构造为堆栈,以使得每个层被构造成在被激励时沿着同一方向作用,从而所述第一面相对于...
该专利属于马格内康普公司所有,仅供学习研究参考,未经过马格内康普公司授权不得商用。
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