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本发明公开了一种检测装置、工艺系统和检测方法。该检测装置包括箱体和灰化检测装置，所述箱体的入光侧上设置有开口，所述开口上设置有窗体，所述箱体的出光侧上设置有狭缝；所述窗体用于将入射的照射光透射至所述狭缝；所述狭缝用于将所述照射光透射至位于所...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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