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本发明涉及研磨用组合物。本发明提供研磨用组合物，其在制备布线结构体的研磨工序中可以兼顾抑制表面阶梯度的产生和实现高的研磨速度。研磨用组合物，其含有磨料、加工促进剂、用Ｒ－ＰＯＥ（式中、Ｒ表示具有支链结构的碳原子数为１０～１６的烷基，ＰＯＥ表...
该专利属于福吉米股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福吉米股份有限公司授权不得商用。

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