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本发明提供了一种金属钛掺杂类金刚石薄膜的制备方法，包括：将掺钛石墨靶材在混合气体环境中进行磁控溅射，在衬底上沉积得到金属钛掺杂类金刚石薄膜；所述混合气体为氢气和氩气。本发明在制备金属钛掺杂类金刚石薄膜时，巧妙地引入了Ti元素，极大地提高了薄...
该专利属于信利光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过信利光电股份有限公司授权不得商用。

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