下载一种环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置及方法的技术资料

文档序号:16682595

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本发明公开一种环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置,其特征在于,包括压力监测模块、三通转换阀、直通阀组、增压阀组、高真空阀组、化学处理装置、混合气体分离装置和压缩回收装置;六氟化硫/氮气混合气体气室通过压力监测模块连接三通转换阀的入口,...
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