下载场效应晶体管的半导体材料堆叠的上表面的多层钝化的技术资料

文档序号:16673602

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本发明涉及一种场效应晶体管,其包括半导体材料的堆叠(Emp),该堆叠的上表面(14)被包括两个子层的钝化层(16)覆盖,两个子层为:第一子层(16a),其在第二低强度区域(Z2)上延伸,所述第一子层(16a)包括具有电击穿电场Ecl1的第一...
该专利属于泰勒斯公司;原子能和能源替代品委员会所有,仅供学习研究参考,未经过泰勒斯公司;原子能和能源替代品委员会授权不得商用。

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