温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

＊＊＊ 本发明关于一种化学机械研磨组合物，其包含５～５０重量％的煅制二氧化硅，及０．１～１０重量％的有机碱，所述碱选自如式（Ⅰ）所示的羟烷基胺，式中Ｒ、Ｒ′及Ｒ″各自表示氢或碳数１～６的羟烷基，及如式（Ⅱ）所示的多胺基碱，式中Ｒ↓［１...
该专利属于长兴化学工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长兴化学工业股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。