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用于气体传感器的制造方法和相应的气体传感器技术
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文档序号:16671878
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本发明涉及一种气体传感器,其具有衬底(7);能加热的膜片(8),该膜片构造在所述衬底(7)的衬底正面(16)上;至少三个电极(1、2、3;11;202;302;101、102、103),所述电极布置在所述膜片(8)的膜片表面(13)上;第一...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。
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