下载一种检测基板性能的检测装置及检测系统的技术资料

文档序号:16670403

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本申请公开了一种检测基板性能的检测装置,包括底座和多个可伸缩支柱。其中,每个可伸缩支柱的一端与所述底座连接,另一端夹持待测基板,且在每个可伸缩支柱中设有伸缩气缸,本技术方案通过控制伸缩气缸进而控制可伸缩支柱的长度,基于待测基板被夹持在可伸缩...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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