下载物质组合物以及由其制成的分子抗蚀剂的技术资料

文档序号:16669361

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明申请公开了一种物质组合物,其包含:包含溶剂;以及具有选自(I)、(II)或(III)的化学结构的酯;其中X和Y相同或不同,其中X和Y中的至少一个包含酸不稳定基团,其中R1是具有1‑4个碳原子的饱和或不饱和的基团,R2选自氢或具有1‑4...
该专利属于亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;杨冬旭;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;托马斯·拉达;约翰·罗斯;薛湘;爱德华·A·杰克逊所有,仅供学习研究参考,未经过亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;杨冬旭;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;托马斯·拉达;约翰·罗斯;薛湘;爱德华·A·杰克逊授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。