下载超声系统和方法的技术资料

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公开了一种超声系统(1),包括:探头(10),其包括CMUT(电容式微机械超声换能器)单元(100)的阵列(110),每个单元包括承载电极布置的第一电极(122)的基板(112),所述基板在空间上与柔性膜(114)隔开一间隙(118),所述...
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