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全介质膜DBR结构氮化镓面发射激光器的制备方法技术
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文档序号:16664903
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全介质膜DBR结构氮化镓面发射激光器的制备方法,涉及激光器。在蓝宝石衬底上外延具有p‑down结构的激光器外延层;在外延片上制作图形化的介质膜DBR,然后磁控溅射n型电极;电镀铜作为替代支撑衬底并激光剥离去除蓝宝石衬底;生长SiO2电流限制...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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