下载一种提高LED亮度的蓝宝石图形化衬底制备方法的技术资料

文档序号:16664526

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本发明公开了一种提高LED亮度的蓝宝石图形化衬底制备方法,其步骤如下:首先在经过表面处理后的蓝宝石衬底表面生长一层薄膜,接着利用光刻技术对薄膜进行曝光进行图形定义,再对薄膜进行热腐蚀,然后利用除胶液去除薄膜上的光刻胶,在剩余薄膜的表面生长出...
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