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接合垫结构制造技术
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下载接合垫结构的技术资料
文档序号:16664383
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一种接合垫结构包括覆于衬底上面的第一氧化物层。多个粘合结构被形成在第一氧化物层上方。第二氧化物层被形成在所述多个粘合结构和第一氧化物层上方。形成在第二氧化物层的表面区域内的多个接触器开口中的每个接触器开口包括一侧或多侧并且在所述多个粘合结构...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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