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本发明提供了一种低碳、无油蒸发镀膜设备，其采用若干立式复合径流分子泵+深冷水汽泵+化学吸附泵组成的抽气机组，取代传统扩散泵+罗茨泵组成的抽气机组，具有大幅度节省抽气能耗、缩短抽气时间和消除油蒸汽污染的显著优点，从而获得无油真空，显著提高镀膜...
该专利属于储琦所有，仅供学习研究参考，未经过储琦授权不得商用。

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