下载一种氮化镓基肖特基二极管半导体器件及制造方法的技术资料

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一种氮化镓基肖特基二极管半导体器件及制造方法,包括以下步骤:在硅单晶衬底上依次形成AlN层、掺杂Fe离子的AlGaN层、掺杂碳离子的GaN外延层、非掺杂的GaN外延层、非掺杂的AlGaN外延层,以及GaN帽层;形成第一接触孔掩模开孔,并在第...
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