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本发明公开了一种低温微波源、低温微波源芯片及其制作方法，该芯片包括衬底以及位于衬底表面上的透射腔、偏置结、电压偏置线、以及直流偏置线；透射腔包括SQUID链，用于发射微波光子；偏置结与透射腔电连接，用于产生微波光子；电压偏置线用于为偏置结施...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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