温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及显示装置技术领域，具体涉及一种薄膜晶体管基板及其制造方法，制造方法包括：步骤101，提供基板，在所述基板上制作遮光层和缓冲层；步骤102，在所述缓冲层上沉积第一非晶硅层；步骤103，在所述第一非晶硅层上沉积通入乙硼烷的第二非晶硅层...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。