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照明装置及检查装置制造方法及图纸
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下载照明装置及检查装置的技术资料
文档序号:16643601
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本发明使照明装置以简易的装置结构具备照明功能和图案投影功能。对拍摄装置(20)的拍摄对象(O)进行照明的照明装置(30)设为下述结构,具有:投影器(35),其照射光;以及分光器(37),其将来自投影器的光引导至拍摄对象,将投影器的光切换为有...
该专利属于JUKI株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过JUKI株式会社授权不得商用。
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