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一种高灵敏气体检测装置及方法制造方法及图纸
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下载一种高灵敏气体检测装置及方法的技术资料
文档序号:16642749
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本发明具体涉及一种高灵敏分解气体检测装置及方法,主要解决了传统SF6分解物检测方法存在易受环境的影响、稳定性差、检测灵敏度低和不同气体之间存在交叉影响的技术问题。本发明通过巧妙地设计差分结构的光声池,有效地减低了传感系统的噪声。另外,通过多...
该专利属于山西大学所有,仅供学习研究参考,未经过山西大学授权不得商用。
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