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多重反射型单元和分析装置制造方法及图纸
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文档序号:16642735
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本发明提供多重反射型单元,不会使结构复杂化,在减小起因于位置调整机构的无效空间的同时,可以调整到期望的光路长度。所述多重反射型单元(102)具备:形成单元室(2S)的单元主体(2);安装在单元主体(2)上、反射面(3x)位于单元室(2S)中...
该专利属于株式会社堀场制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场制作所授权不得商用。
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