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二氧化硅光学薄膜消光系数确定方法技术
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文档序号:16642705
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本发明涉及一种二氧化硅光学薄膜消光系数确定方法,属于光学薄膜技术领域。本发明将SiO2薄膜等效为纯SiO2和亚氧化物的混合物,构建光学常数物理模型,获得较高精度的消光系数测试,确定了SiO2光学薄膜消光系数,解决了极低消光系数的SiO2薄膜...
该专利属于天津津航技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过天津津航技术物理研究所授权不得商用。
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