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本发明公开了一种基于直流辉光放电等离子体原理的高频响压力传感器。该高频响压力传感器包括：电极，包括阴极和阳极，用于在高压直流电源作用下，在阴极和阳极之间产生等离子体；支撑结构，用于支撑和固定所述电极，保证阴极和阳极之间具有稳定的间隙；以及屏...
该专利属于中国科学院工程热物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院工程热物理研究所授权不得商用。

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