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一种化学机械研磨浆液，其特征为包含一种复合研磨粒子，该复合研磨粒子由表面包覆氧化铝的氧化硅粒子构成。...
该专利属于长兴化学工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长兴化学工业股份有限公司授权不得商用。

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