下载研磨介质及其制造方法的技术资料

文档序号:1663347

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本发明公开了一种研磨介质,包括刚性本体,所述刚性本体上包覆有弹性耐磨层。以及该研磨介质的制造方法,包括如下步骤:1)将由弹性耐磨材料制成的薄膜覆盖在刚性本体表面;2)加热至弹性耐磨材料熔融;3)将步骤2)得到的产物进行深度冷冻;4)将步骤3...
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