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本发明提供具有发生损伤更少等优良研磨特性、研磨速度更高的铈系研磨材料。该铈系研磨材料作为稀土类氧化物至少含有氧化铈（ＣｅＯ↓［２］）、氧化镧（Ｌａ↓［２］Ｏ↓［３］）及氧化钕（Ｎｄ↓［２］Ｏ↓［３］），并含有氟元素（Ｆ），其总稀土类氧化物换...
该专利属于三井金属鉱业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三井金属鉱业株式会社授权不得商用。

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