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本公开涉及一种基板玻璃深加工用供气系统及其洁净储气分配器，所述分配器包括储气罐体(3)，所述储气罐体(3)上形成有用于气体流入的进气口(1)，和多个分别用于流出气体的出气口(2)。通过在分配器的储气罐体上设置进气口和多个出气口，以将分配器连...该专利属于东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司授权不得商用。
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本公开涉及一种基板玻璃深加工用供气系统及其洁净储气分配器，所述分配器包括储气罐体(3)，所述储气罐体(3)上形成有用于气体流入的进气口(1)，和多个分别用于流出气体的出气口(2)。通过在分配器的储气罐体上设置进气口和多个出气口，以将分配器连...