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武汉华星光电技术有限公司
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基板承载装置制造方法及图纸
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文档序号:16622930
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本实用新型公开了一种基板承载装置,用于传输或者承载基板。基板承载装置包括基体与多个设置于基体的升降单元,所述升降单元可相对于所述基体伸缩。所述升降单元包括升降基体、弹性元件与缓冲元件,其中,所述升降基体包括相对的自由端与连接端,所述自由端可...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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