下载多晶硅薄膜、薄膜晶体管的制作方法、设备、显示基板的技术资料

文档序号:16606652

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本发明提供一种多晶硅薄膜、薄膜晶体管的制作方法、设备、显示基板。多晶硅薄膜的制作方法包括:在基板上沉积非晶硅薄膜;对所述非晶硅薄膜进行晶化处理,得到由非晶硅薄膜转换成的多晶硅过渡薄膜;使所述多晶硅过渡薄膜发生塑性形变,使所述多晶硅过渡薄膜存...
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