下载流化床反应器及其用于制备高纯粒状多晶硅的方法的技术资料

文档序号:16598529

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本发明公开了一种流化床反应器及其用于制备高纯粒状多晶硅的方法,包括反应管、分布器和加热装置,所述反应管和位于反应管底部的分布器构成反应室,所述分布器设有气体进口和产品出口,所述反应管顶部或上部设有尾气出口和籽晶进料口,其特征在于所述反应管由...
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